MSEC2019-2936 Failure Detection and Remaining Life Estimation for lon Mill Etching Process Through Deep-Learning Based Multimodal Data Fusion

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	ASME International Manufacturing Science and Engineering Conference (14. : 2019 : Erie, Pa.) Proceedings of the ASME 14th International Manufacturing Science and Engineering Conference - 2019 ; Volume 1: Additive manufacturing - manufacturing equipment and systems - bio and sustainable manufacturing
1. Verfasser:	He, Angi (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Jin, Xiaoning (VerfasserIn)
Pages:	14
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2019
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