Approach to Reduce Inter-Poly ONO Film Thickness in NVM Cell

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (46 : 1994 : Tokio) 46. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū
1. Verfasser:	Yamagishi, M. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Kubota, M. (VerfasserIn), Shimanoe, M. (VerfasserIn), Tanaka, A. (VerfasserIn)
Pages:	46
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1994
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