Effect of Crystal Defects Induced in Heat-treated Czochralski Silicon Wafers on Dielectric Breakdown of Thermal SiO2 Films

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (46 : 1994 : Tokio) 46. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū
1. Verfasser:	Satoh, Y. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Murakami, Y. (VerfasserIn), Shiota, T. (VerfasserIn), Furuya, H. (VerfasserIn), Shingyouji, T. (VerfasserIn)
Pages:	46
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1994
Schlagworte:
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!