Low Temperatire Growth of Piezoelectric Films by RF Reactive Planar Magnetron Sputtering

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Symposium on Ultrasonic Electronics (1 : 1980 : Tokio) Proceedings of the 1st Symposium on Ultrasonic Electronics
1. Verfasser:	SHIOSAKI, Tadashi (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	YAMAMOTO, Takashi (VerfasserIn), ODA, Takafumi (VerfasserIn), HARADA, Kazushige (VerfasserIn), KAWABATA, Akira (VerfasserIn)
Pages:	1
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1981
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Beschreibung
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