Detection and Imaging of Subsurface Microcracks in Silicon Wafers Using Photoacoustic Microscope

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Symposium on Ultrasonic Electronics (12 : 1991 : Tokio) Proceedings of the 12th Symposium on Ultrasonic Electronics
1. Verfasser:	NAKATA, Toshihiko (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	KEMBO, Yukio (VerfasserIn), KITAMORI, Takehiko (VerfasserIn), SAWADA, Tsuguo (VerfasserIn)
Pages:	12
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1992
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Beschreibung
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