Enhanced Hot-Carrier Degradation Due to Water-Related Species in Plasma Enhaced TEOS Oxide

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (47 : 1994 : Tokio) 47. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū
1. Verfasser:	Yamaha, T. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Inoue, Y. (VerfasserIn), Fujioka, T. (VerfasserIn), Hanagasaki, O. (VerfasserIn), Hotta, T. (VerfasserIn)
Pages:	47
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	1994
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