Controllability of Pattern Sizes on a Ultra-high-sensitivity Negative-type Chemical Amplification EB Resist

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (47 : 1994 : Tokio) 47. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū
1. Verfasser:	Yamamoto, J. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Migitaka, S. (VerfasserIn), Uchino, S. (VerfasserIn), Yoshimura, T. (VerfasserIn), Okazaki, S. (VerfasserIn)
Pages:	47
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	1994
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