Single Layer Resist with Adamantylmethacrylates for 193nm Lithography

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (47 : 1994 : Tokio) 47. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū
1. Verfasser:	Takechi, S. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Takahashi, M. (VerfasserIn), Kaimoto, Y. (VerfasserIn), Nozaki, K. (VerfasserIn), Kotachi, A. (VerfasserIn), Hanyu, I. (VerfasserIn)
Pages:	47
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	1994
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