Wafer Bonding in MEMS Technologies

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	MAMM (5. : 2020 : Ilmenau) Microactuators, microsensors and micromechanisms
1. Verfasser:	Knechtel, Roy (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Schwarz, Uwe (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2021
Schlagworte:
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!