Atomic Layer Deposition of Lithium-Silicon-Tin Oxide Nanofilms for High Performance Thin Film Batteries Anodes

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Conference on Industrial Engineering (5. : 2019 : Sotschi) Materials engineering and technologies for production and processing V ; Part 1
1. Verfasser:	Nazarov, D. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Mitrofanov, I. (VerfasserIn), Maximov, M. Y. (VerfasserIn)
Pages:	1
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
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