Prediction of coating composition using composite target reactive sputtering and experimental verification

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Asia-Pacific Physics Conference (14. : 2019 : Kuching) Proceedings of the 14th Asia-Pacific Physics Conference
1. Verfasser:	Singh, Kulwant (VerfasserIn)
Pages:	14
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2021
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