Spectroscopic Analyses of Sputtered Aluminum Oxide Films with Oxygen Plasma Treatments

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Conference on Nanostructures, Nanomaterials and Nanoengineering (7. : 2018 : Sapporo) Nano engineering and materials technologies III
1. Verfasser:	Hom-On, C. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Horprathum, M. (VerfasserIn), Eiamchai, P. (VerfasserIn), Limwichean, S. (VerfasserIn), Patthanasetakul, V. (VerfasserIn), Chananonnawathorn, C. (VerfasserIn), Lertvanithphol, T. (VerfasserIn), Songsiriritthigul, P. (VerfasserIn), Nakajima, H. (VerfasserIn), Triroj, N. (VerfasserIn), Jarroenapibal, P. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2019
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