PVP2004-2826 Effect of Sputtering Gas Pressure and Bias Voltage on Mechanical Properties of TiN Coating Deposited by DC Magnetron Sputtering

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Recent advances in nondestructive evaluation techniques for material science and industries
1. Verfasser:	Tanabe, Hirotaka (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Miyoshi, Yoshio (VerfasserIn), Takamatsu, Tohru (VerfasserIn), Awano, Hitoshi (VerfasserIn), Yamano, Takaaki (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2004
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