EU-Verbundprojekt: Mikroelektronik und Informationstechnik zur Einführung von Industrie 4.0 in Wertschöpfungsketten (Productive4.0); Teilvorhaben: Automatisierung von Halbleiterfabs durch autonome System mit fortschrittlichem Handling Abschlussbericht : Laufzeit: 01.05.2017 bis 31.10.2020
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Dresden
Fabmatics GmbH
30. April 2021
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Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 16ESE0175S Verbundnummer 01178159 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden |
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Beschreibung: | 1 ungezähltes Blatt, 25 Blätter, 4 ungezählte Blätter Illustrationen |