EU-Verbundprojekt: Mikroelektronik und Informationstechnik zur Einführung von Industrie 4.0 in Wertschöpfungsketten (Productive4.0); Teilvorhaben: Automatisierung von Halbleiterfabs durch autonome System mit fortschrittlichem Handling Abschlussbericht : Laufzeit: 01.05.2017 bis 31.10.2020

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Hantzschmann, Karli (VerfasserIn)
Körperschaft: Fabmatics GmbH (Herausgebendes Organ)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Dresden Fabmatics GmbH 30. April 2021
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Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 16ESE0175S
Verbundnummer 01178159
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Beschreibung:1 ungezähltes Blatt, 25 Blätter, 4 ungezählte Blätter
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