Plattform für Silizium-Glas-Verbund Abschlussbericht Oktober 2017 bis September 2020 innerhalb des Verbundprojektes: Integrationsplattform für mikromechanische und -optische Elektroniksysteme auf Basis funktioneller Glasgehäuse - PRISMA : Laufzeit des Vorhabens: 01.10.2017-30.09.2020

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Weinberger, Stefan (VerfasserIn)
Körperschaft:	X-FAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH (Herausgebendes Organ)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Itzehoe XFAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH 2020
Schlagworte:	Forschungsbericht > Wafer > Glas > Silicium > Ätzen > Beschichten > Wafer level packaging
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Keine Ergebnisse!