Plattform für Silizium-Glas-Verbund Abschlussbericht Oktober 2017 bis September 2020 innerhalb des Verbundprojektes: Integrationsplattform für mikromechanische und -optische Elektroniksysteme auf Basis funktioneller Glasgehäuse - PRISMA : Laufzeit des Vorhabens: 01.10.2017-30.09.2020

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Weinberger, Stefan (VerfasserIn)
Körperschaft: X-FAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH (Herausgebendes Organ)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Itzehoe XFAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH 2020
Schlagworte:
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 16ES0728K
Verbundnummer 01180525
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Beschreibung:41, 2 ungezählte Blätter
Illustrationen, Diagramme