Entwicklung einer Plattform für funktionelle Glasgehäuse für die Integration mikrooptischer und -mechanischer Systeme auf Waferebene "PRISMA" Abschlussbericht : Teilvorhaben: Entwicklung funktioneller Glasgehäuse und deren Integration für mikrooptische und -mechanische Systeme auf Waferebene : 1. September 2017-31. August 2020
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Itzehoe
Fraunhofer ISIT
2020
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 16ES0729 [richtig] - 16ES0728K [falsch] Verbundnummer 01180525 Weiteren Autor dem Berichtsblatt entnommen Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden |
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| Beschreibung: | 64 Seiten, 2 ungezählte Blätter Illustrationen, Diagramme |