Micro electro-fabrication

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Saleh, Tanveer (HerausgeberIn), Sultan Mohamed Ali, Mohamed (HerausgeberIn), Takahata, Kenichi (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Amsterdam, Kidlington, Oxford, Cambridge, MA Elsevier 2021
Schriftenreihe:Micro and nano technologies series
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Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Literaturangaben
Beschreibung:xv, 395 Seiten
Illustrationen, Diagramme
24 cm
ISBN:9780128200490
978-0-12-820049-0