Single and Multilayer Atomic Layer Deposition on and into Mesoporous Silicon Layers

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science (2020 : Online) (9.) Pits and Pores 9: Nanomaterials - Fabrication, Properties, and Applications
1. Verfasser:	Kovacs, A. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Martin, D. (VerfasserIn), Filbert, A. (VerfasserIn), Bucher, V. (VerfasserIn), Mescheder, U. (VerfasserIn)
Pages:	9
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
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