IMECE2019-11152 Precise Control of Precursor Sticking Coefficient on Substrates With Large Aspect Ratios in ALD

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition (2019 : Salt Lake City, Utah) Proceedings of the ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition - 2019 ; Volume 12: Advanced materials: design, processing, characterization, and applications
1. Verfasser:	Kunene, T. J. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Tartibu, L. (VerfasserIn), Jen, T. C. (VerfasserIn)
Pages:	2019
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
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