Struktur-Visualisation dünner Schichten in mikromechanischen Bauelementen

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	DACH-Jahrestagung Zerstörungsfreie Materialprüfung Vorträge und Plakatberichte ; Teil 1
1. Verfasser:	Liebig, V. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Köhler, B. (VerfasserIn), Görner, W. (VerfasserIn), Schamlott, A. (VerfasserIn)
Pages:	1
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1991
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