Enhancing Prediction Quality of Fab Simulation by Advanced Cycle Time Modelling

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	European Advances in Digital Transformation Conference (1. : 2018 : Zittau) Digital transformation in semiconductor manufacturing
1. Verfasser:	Dilefeld, Maximilian (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Rank, Sebastian (VerfasserIn), Schmidt, Thorsten (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
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