Numerical Simulation Study on Influence of Geometric Parameters of Spin-Coating Pallet on Wafer Deformation

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	China Functional Material Technology and Industry Forum (10. : 2018 : Tientsin) Functional Materials Technology and Industry Forum X
1. Verfasser:	Wu, T. X. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Lu, J. (VerfasserIn), Wang, Q. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2019
Schlagworte:
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!