Einsatz der TEM-Tomographie für Prozesscharakterisierung und Fehleranalyse bei der Herstellung von Mikroprozessoren

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Fortschritte in der Metallographie
1. Verfasser:	Uteß, D. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Engelmann, H.]. (VerfasserIn), Zschech, E. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2008
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