Innere Spannungen und Relaxationseffekte in metallischen Leitbahnen mikroelektronischer Bauelemente

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	ZfP als Dienstleistung in einer veränderten Industriestruktur ; 1: Vorträge
1. Verfasser:	Schreiber, J. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Köhler, B. (VerfasserIn), Meißner, O. (VerfasserIn), Melov, V. G. (VerfasserIn)
Pages:	1
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1997
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