Technical concept of a new SEM/FIB CrossBeam tool-combining an ultrahigh resolution field emission SEM and a high resolution FIB

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Fortschritte in der Metallographie
1. Verfasser:	Gnauck, P. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Hoffrogge, P. (VerfasserIn), Greiser, J. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	2003
Schlagworte:
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