Inverse problem for the spectrophotometrical method of nondestructive testing of doping impurity profile in semiconductor structures

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Conference Computer Methods and Inverse Problems in Nondestructive Testing and Diagnostics (1 : 1995 : Minsk) Proceedings
1. Verfasser:	Artemenko, O. L. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Litvinovich, G. V. (VerfasserIn), Nelayev, V. V. (VerfasserIn), Sevruk, B. B. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1995
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