Microstructure Investigation of He*- Implanted and Post-Implantation-Annealed 4H-SiC

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Conference on Advanced Materials and Engineering Materials (8. : 2019 : Hongkong) Advanced materials and engineering materials VIII
1. Verfasser:	Zhang, L. Q. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Liu, H. P. (VerfasserIn), Kang, L. (VerfasserIn), Zhang, T. M. (VerfasserIn), Chen, Y. G. (VerfasserIn), Zhang, X. L. (VerfasserIn), Ding, Z. N. (VerfasserIn), Li, J. Y. (VerfasserIn), Liu, J. (VerfasserIn), Zhang, C. H. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2019
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