The formation of porous structure in silicon by the methods of metal-assisted chemical etching and electrochemical etching

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures (Veranstaltung : 2019 : Tomsk) Proceedings of the International Conference on Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2019 ; A
1. Verfasser:	Krukovskii, Konstantin V. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Kashin, Oleg A. (VerfasserIn), Lotkov, Alexander I. (VerfasserIn)
Pages:	2019
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2019
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