Phase Control of Ga2O3 Thin Films Grown by Metal-Organic Chemical Vapor Deposition

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Asia-Pacific Conference on Silicon Carbide and Related Materials (2018 : Peking) Semiconductors: silicon carbide and related materials
1. Verfasser:	Li, Z. Q. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Chen, Z. M. (VerfasserIn), Chen, W. Q. (VerfasserIn), Wang, G. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2019
Schlagworte:
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