Theoretical Calculation and Simulation for Microcantilevers Based on SiC Epitaxial Layers

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Asia-Pacific Conference on Silicon Carbide and Related Materials (2018 : Peking) Semiconductors: silicon carbide and related materials
1. Verfasser:	Liu, X. F. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Yan, G. G. (VerfasserIn), Shen, Z. W. (VerfasserIn), Wen, Z. X. (VerfasserIn), Chen, J. (VerfasserIn), He, Y. W. (VerfasserIn), Zhao, W. S. (VerfasserIn), Wang, L. (VerfasserIn), Guan, M. (VerfasserIn), Zhang, F. (VerfasserIn), Sun, G. S. (VerfasserIn), Zeng, Y. P. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2019
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