DETC2019-97839 Investigation of the Effect of Long-Term Contact on Adhesion Force in Polycrystalline MEMS Devices

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Design for Manufacturing and the Life Cycle Conference (24. : 2019 : Anaheim, Calif.) Proceedings of the ASME International Design Engineering Technical Conferences and Computers and Information in Engineering Conference - 2019 ; volume 4: 24th Design for Manufacturing and the Life Cycle Conference/13th International Conference on Micro- and Nanosystems
1. Verfasser:	Othayq, Mazen M. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Giganti, Nino (VerfasserIn), Shavezipur, Mohammad (VerfasserIn)
Pages:	2019
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
Schlagworte:
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