DETC2019-98073 Biosensing Mechanism Using Amplitude Voltage Response of Superharmonic Resonance of Fourth Order of Electrostatically Actuated MEMS Cantilever Resonators

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Design for Manufacturing and the Life Cycle Conference (24. : 2019 : Anaheim, Calif.) Proceedings of the ASME International Design Engineering Technical Conferences and Computers and Information in Engineering Conference - 2019 ; volume 4: 24th Design for Manufacturing and the Life Cycle Conference/13th International Conference on Micro- and Nanosystems
1. Verfasser:	Caruntu, Dumitru I. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Reyes, Christopher (VerfasserIn)
Pages:	2019
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
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