A novel method of silicon synthesis by CVD

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Young Researchers’ Conference "Physics, Technologies and Innovation" (6. : 2019 : Jekaterinburg) Physics, technologies and innovation (PTI-2019) ; A
1. Verfasser:	Shishkin, R. A. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Kudyakova, V. S. (VerfasserIn), Yuferov, Yu. V. (VerfasserIn), Zykov, F. M. (VerfasserIn)
Pages:	2019
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2019
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