Substrates Effect on the Phase Transition of GaN Thin Films by Sputter Deposition

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Conference on Mechanical Structures and Smart Materials (5. : 2019 : Xi'an) Structural and smart materials III
1. Verfasser:	Zhang, C. G. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2019
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