Entwicklung hochleistungsfähiger ohmscher MEMS-Schalter auf Basis eines neuartigen Aktorkonzeptes

Dissertation, Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, 2020

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Stoppel, Fabian (VerfasserIn)
Körperschaft:	Books on Demand GmbH (Verlag)
Weitere Verfasser:	Adelung, Rainer (AkademischeR BetreuerIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Norderstedt BoD – Books on Demand 2020
Ausgabe:	1. Auflage
Schlagworte:	Hochschulschrift > MEMS > Mikroschalter > Piezoelektrischer Aktor > Opferschicht > Kontaktieren > Passivierung > Miniaturisierung > Schaltverhalten > Schaltzeit > Zuverlässigkeit > Aktorik
Online Zugang:	Inhaltstext Inhaltsverzeichnis
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