Entwicklung hochleistungsfähiger ohmscher MEMS-Schalter auf Basis eines neuartigen Aktorkonzeptes

Dissertation, Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, 2020

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Stoppel, Fabian (VerfasserIn)
Körperschaft:	Books on Demand GmbH (Verlag)
Weitere Verfasser:	Adelung, Rainer (AkademischeR BetreuerIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Norderstedt BoD – Books on Demand 2020
Ausgabe:	1. Auflage
Schlagworte:	Hochschulschrift > MEMS > Mikroschalter > Piezoelektrischer Aktor > Opferschicht > Kontaktieren > Passivierung > Miniaturisierung > Schaltverhalten > Schaltzeit > Zuverlässigkeit > Aktorik
Online Zugang:	Inhaltstext Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Dissertation, Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, 2020
Beschreibung:	Literaturverzeichnis: Seite 155-167
Beschreibung:	XII, 172 Seiten Illustrationen, Diagramme 21 cm x 14.8 cm, 275 g
ISBN:	9783752608618 978-3-7526-0861-8 3752608617 3-7526-0861-7