Structural analysis of sputtered Sc(x)Al(1-x)N layers for sensor applications

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Conference on Material Science and Smart Materials (6. : 2019 : Birmingham) Materials science and smart materials
1. Verfasser:	Hähnlein, Bernd (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Hofmann, Tim (VerfasserIn), Tonisch, Katja (VerfasserIn), Pezoldt, Jörg (VerfasserIn), Kovac, Jaroslav (VerfasserIn), Krischok, Stefan (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
Schlagworte:
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!