Aktoren aus mikrostrukturiertem Silizium für pneumatische und hydraulische Anwendungen : Abschlußbericht zum Verbundprojekt ; Berichtszeitraum: 1.1.1989 - 31.12.1991

Aktoren aus mikrostrukturiertem Silizium für pneumatische und hydraulische Anwendungen Abschlußbericht zum Verbundprojekt ; Berichtszeitraum: 1.1.1989 - 31.12.1991

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Fraunhofer-Institut für Mikrostrukturtechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Baumann, Helmut (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Berlin u.a. 1991
Schlagworte:
Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMFT 13 AS 0069; 13 AS 0112; 13 AS 0068; 13 AS 0067/3
Beschreibung:205 S