Über Struktur und Eigenschaften reaktiv gesputterter (Ti, Al)N-Hartstoffschichten

Freiberg, Techn. Univ., Bergakademie, Diss., 1994

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Will, Sabine (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1994
Schlagworte:	Hochschulschrift > PVD-Verfahren > Titannitrid > Aluminiumnitrid > Hartstoff > Beschichtung
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Freiberg, Techn. Univ., Bergakademie, Diss., 1994
Beschreibung:	Getr. Zählung Ill., graph. Darst