Gesteuerte Gasphasendotierung während der Epitaxie zur Erzeugung beliebiger Störstellenprofile

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Raabe, Gerhard (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	München Zentralstelle für Luft- und Raumfahrtdokumentation und -information der Dt. Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt 1975
Schriftenreihe:	Forschungsbericht / Bundesministerium für Forschung und Technologie Technologische Forschung und Entwicklung T 75-02 : Elektronik
Schlagworte:
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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