VUV-Photo-CVD Untersuchungen zur Gasphasenabscheidung amorpher Halbleiter mit Hilfe einer externen VUV-Quelle

Stuttgart, Univ., Diss., 1994

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Kessler, Friedrich (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1994
Schlagworte:	Hochschulschrift
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