VUV-Photo-CVD Untersuchungen zur Gasphasenabscheidung amorpher Halbleiter mit Hilfe einer externen VUV-Quelle

Stuttgart, Univ., Diss., 1994

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Kessler, Friedrich (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 1994
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Beschreibung
Zusammenfassung:Stuttgart, Univ., Diss., 1994
Beschreibung:121 S
graph. Darst