Polymeric materials for microelectronic applications science and technology ; developed from a symposium sponsored by the Polymers for Microelectronics and Photonics Group of the Society of Polymer Science, Japan, and the Division of Polymeric Materials: Science and Engineering, Inc., of the American Chemical Society, at the Polymers for Microelectronics 1993 Meeting, Kawasaki, Japan, November 15 - 19, 1993
Gespeichert in:
Körperschaften: | , |
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Weitere Verfasser: | , , |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Washington, DC
American Chemical Society
1994
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Schriftenreihe: | ACS symposium series
579 |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | Publisher description Table of contents |
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