Polymeric materials for microelectronic applications science and technology ; developed from a symposium sponsored by the Polymers for Microelectronics and Photonics Group of the Society of Polymer Science, Japan, and the Division of Polymeric Materials: Science and Engineering, Inc., of the American Chemical Society, at the Polymers for Microelectronics 1993 Meeting, Kawasaki, Japan, November 15 - 19, 1993

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	Kōbunshi Gakkai (BerichterstatterIn), Polymers for Microelectronics Meeting (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Ito, Hiroshi (HerausgeberIn), Tagawa, Seichi (BerichterstatterIn), Horie, Kazuyuki (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Washington, DC American Chemical Society 1994
Schriftenreihe:	ACS symposium series 579
Schlagworte:	Microelectronics > Materials > Polymers > Congresses > Konferenzschrift > Kunststoff > Mikroelektronik
Online Zugang:	Publisher description Table of contents
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