Projekt DIANA: Entwicklung des Diamantendraht-Trennprozesses und notwendiger Reinigungstechnologien zur Silizium-Waferherstellung; Teilvorhaben: Evaluierung der Draht- und Drahtführungsrollengeometrie Abschlussbericht : Berichtszeitraum: 01.07.2016-30.06.2019
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Burghausen
Siltronic AG
2019
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Beschreibung: | Förderkennzeichen BMWi 0324087C Verbundnummer 01171054 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden |
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Beschreibung: | 17 Blätter Illustrationen, Diagramme |