On the acidic anisotropic texturization of monocrystalline silicon wafer surfaces in the system HF-HCl-Cl2

Dissertation, Technische Universität Bergakademie Freiberg, 2020

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Stapf, André (VerfasserIn)
Körperschaft: Technische Universität Bergakademie Freiberg (Grad-verleihende Institution)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Freiberg 2020
Schlagworte:
Hochschulschrift > Silicium > Wafer > Nassätzen > Chlor > Flusssäure > Oberflächenanalyse
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Beschreibung
Zusammenfassung:Dissertation, Technische Universität Bergakademie Freiberg, 2020
Beschreibung:Literaturverzeichnis Blatt 105-113
Tag der Verleihung: 20.05.2020
Beschreibung:119 Blätter
Illustrationen, Diagramme