APPLICATION OF RF (40.68 MHZ) ARC DISCHARGE FOR PLASMA CHEMICAL CONVERSION OF VOLATILE CHLORIDES OF SILICON AND GERMANIUM

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Symposium on Physics of Switching Arc (23. : 2019 : Neustadtl, Mähren) 23rd Symposium on Physics of Switching Arc 2019
1. Verfasser:	Kornev, R. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Sennikov, P. (VerfasserIn), Nazarov, V. (VerfasserIn), Sukhanov, A. (VerfasserIn), Shabarova, L. (VerfasserIn)
Pages:	23
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
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