High-Efficiency Planarization of SiC Wafers by Water-CARE (Catalyst-Referred Etching) Employing Photoelectrochemical Oxidation

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	European Conference on Silicon Carbide and Related Materials (12. : 2018 : Birmingham) Silicon carbide and related materials 2018
1. Verfasser:	Kida, H. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Tho, D. (VerfasserIn), Bui, P. V. (VerfasserIn), Isohashi, A. (VerfasserIn), Ohnishi, R. (VerfasserIn), Matsuyama, S. (VerfasserIn), Yamauchi, K. (VerfasserIn), Sano, Y. (VerfasserIn)
Pages:	2018
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2019
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