Raman Spectroscopy Characterization of Ion Implanted 4H-SiC

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	European Conference on Silicon Carbide and Related Materials (12. : 2018 : Birmingham) Silicon carbide and related materials 2018
1. Verfasser:	Xu, Z. W. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Song, Y. (VerfasserIn), Rommel, M. (VerfasserIn), Liu, T. (VerfasserIn), Kocher, M. (VerfasserIn), He, Z. D. (VerfasserIn), Wang, H. (VerfasserIn), Liu, B. T. Yao. L. (VerfasserIn), Fang, F. Z. (VerfasserIn)
Pages:	2018
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2019
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